真空泵油在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域中的再造循環(huán)利用

全氟甲基丙烯酸酯油(PFPE)分子結(jié)構(gòu)鏈飽和狀態(tài)，不過氧化物原素，有機(jī)化學(xué)性能尤其平穩(wěn)，抗氧化劑，與氧相溶，不可燃性，耐強(qiáng)堿、強(qiáng)酸等化合物，高溫性能平穩(wěn)，并具備非常低的揮發(fā)速度和優(yōu)良的潤化性能。不但安全性， 且使用期長。

         半導(dǎo)體材料工業(yè)生產(chǎn)在集成ic生產(chǎn)過程中務(wù)必應(yīng)用一些獨(dú)特的汽體與一些具備毒副作用的氧化劑，因此規(guī)定在加工工藝生產(chǎn)過程中普遍應(yīng)用的真空泵具備十分優(yōu)異的適應(yīng)能力，PFPE因其出色性能而獲得普遍應(yīng)用。特別是在在清除火災(zāi)事故或發(fā)生爆炸的風(fēng)險安全隱患等層面也是性能非凡。

         全球?qū)ι鷳B(tài)環(huán)境保護(hù)的規(guī)定愈來愈高。如何處理在真空泵維修和應(yīng)用全過程中所造成的廢油是擺放在全部企業(yè)眼前的一大難點(diǎn)。傳統(tǒng)式的處理方法是將收購的廢油送至本地廢油處理站焚燒處理。但PFPE是沒法點(diǎn)燃的。換句話說，簡易解決應(yīng)用過的PFPE油會導(dǎo)致**性的空氣污染。

       全氟甲基丙烯酸酯廢油再造利用的全部階段和生產(chǎn)制造程序流程，做為初始PFPE真空泵油生產(chǎn)商的專業(yè)技能和工作經(jīng)驗(yàn)基本以上。全部再造工作中均在國外美國俄亥俄州的Deepwater生產(chǎn)制造加工廠進(jìn)行。根據(jù)很多年的技術(shù)專業(yè)工作經(jīng)驗(yàn)，PFPE真空泵油的再造加工過程，包含中合，過慮，除氣，精餾塔，氧化鉍再造及其特制等流程，在其中氧化鉍再造是至關(guān)重要的流程，并加上健全的材料分析測試方式包含氣象色譜儀，紅外線色譜儀，分子光譜圖等方式來實(shí)時跟蹤，剖析并監(jiān)管相關(guān)酸值，黏度，蒸汽壓等至關(guān)重要的指標(biāo)值，以保證再造生產(chǎn)制造的PFPE再造油性能指標(biāo)值與新生產(chǎn)制造的PFP油完全一致，而且確保在操作過程全過程中性能徹底等同于，加工工藝工程項(xiàng)目的**控制及徹底閉試循環(huán)系統(tǒng)等的特性, 促使再造成品率達(dá)95~98%。

         除此之外，所述再造工程項(xiàng)目中，全部過慮，特制等程序流程所造成的廢料均嚴(yán)苛依照英國相對的政策法規(guī)來解決，并嚴(yán)苛依照有關(guān)的程序流程，以利于生態(tài)環(huán)境保護(hù)。再造利用計(jì)劃方案，針對顧客有以下明顯優(yōu)勢：

（1）為顧客搜集廢油免費(fèi)出示涂料桶；

（2）節(jié)約了應(yīng)急處置廢油的花費(fèi)和時間；

（3）因?yàn)樵僭煊偷脑俅螒?yīng)用，節(jié)約了實(shí)際操作運(yùn)作成本；

（4）因?yàn)閺U油的安全性和合理合法應(yīng)急處置，完成了環(huán)境保護(hù)目地；

（5）保證 再造利用的油做到原商品的規(guī)范；

（6）在全部操作流程中出示服務(wù)支持。

         鑒于此，海外基本上全部的真空泵生產(chǎn)商和集成電路芯片生產(chǎn)廠均聽取意見此計(jì)劃方案。搜集全部使用過的PFPE油，獲得本地公司和其代理商的適用和服務(wù)項(xiàng)目。再造利用，完成環(huán)境保護(hù)，并控制成本。

         中國半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展快速，環(huán)境保護(hù)規(guī)定持續(xù)提升。半導(dǎo)體業(yè)廢油解決的環(huán)境污染問題已造成集成ic生產(chǎn)廠及私營部門的重視?，F(xiàn)階段，中國取得成功地創(chuàng)建了該項(xiàng)目地健全保障體系。一方面，把搜集的PFPE廢油100% 送至英國新澤西州加工廠開展再造利用，使中國有關(guān)公司一樣得此再造利用計(jì)劃方案的六大益處；另一方面，為中國的環(huán)境保護(hù)工作做出貢獻(xiàn)。